问答题 压力微传感器有几种机理,试比较各种机理微传感器的优缺点。
【正确答案】(1)压力微传感器有3种机理:压阻效应、电容效应、谐振效应
   (2)压阻效应压力微传感器优点:开环模式工作。
   缺点:压阻系数随温度变化的改变明显。
   电容效应压力微传感器优点:灵敏度高——高于压阻式10倍以上;功耗低——低于压阻式2个数量级;温漂小——所以重复性和长期稳定性好。
   缺点:必须具有很小的电容;必须具有很低的温度漂移。
   谐振效应压力微传感器优点:直接输出频率量,无需A/D转换,可与数字系统连接,组成高精度的测控系统;受电路参数(如电漂移、噪声等)变化的影响很小,测量精度、稳定性及测量分辨率均较好。
   缺点:必须具有很高的机械品质因数Q。
【答案解析】