【正确答案】(1)光切显微镜(双管显微镜)。一般用R_z评定表面粗糙度。评定范围是R_z=0.8～80μm。
   (2)双光束或多光束光波干涉显微镜。一般按R_z值评定，评定的范围为R_z﹥0.8μn。
   (3)电动轮廓仪。可直接读出R_a值，评定范围为R_a=0.02～5μm。通过对记录图进行数据处理，还可以得到相应的R_z值。