在洁净厂房内，即使使用高纯气瓶，也不容许直接放在洁净室内生产设备远处

气体管道可以与水系统的压力管道和电气线路共同支架

对于管线布置及其周围环境要考虑到防火防爆及气体泄漏后的排除

气体管路应尽量短捷，以减少输送过程中高纯气体受到的污染