结构推理
物理气相沉积
【正确答案】
物理气相沉积：在真空条件下，利用各种物理方法，将镀料汽化成原子、分子或使其离子化为离子，直接沉积到基体表面上的方法称为物理气相沉积(PVD)。
【答案解析】
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