【正确答案】(1)目前加速度微传感器有3种测试机理：谐振效应硅梁式、压阻效应阵列式、0位平衡式硅电容效应。
   (2)阵列式加速度微传感器的设计思路：基于非线性回归理论，正交试验设计方法研制。该微传感器由8个相同的硅悬臂梁组成，在悬臂梁根部扩散电阻，同时将惠斯顿电桥扩散在同一芯片上。当整个微传感器受到冲击载荷时，悬臂梁上电阻由于载荷作用产生形变，采用惠斯顿电桥测试对应形变的电阻变化值，电阻值的变化相对应于加速度值。采用压阻效应，经多次光刻、溅射等工艺制成．经冲击测试获得了成功。