填空题 MEMS的检测有3个方面： 1检测技术、 2检测、 3检测。
  • 1、
  • 2、
  • 3、
【正确答案】 1、MEMS的综合性能,    2、MEMS的结构特性,    3、MEMS的材料特性    
【答案解析】