填空题 化学气相沉积法主要包括 12和兼两者特点的 3等。
  • 1、
  • 2、
  • 3、
【正确答案】 1、常压化学气相沉积,    2、低压化学气相沉积,    3、等离子化学气相沉积    
【答案解析】