【正确答案】(1)微型化的零件，尺寸范围大约为数纳米到数毫米级。
   (2)由于受制造工艺和方法的限制，结构零件大部分为两维扁平零件。
   (3)系统所使用的材料基本上为半导体材料，但也越来越多地使用塑料和金属材料。
   (4)机械和电子被集成为相当独立的子系统，比如传感器、执行器和处理器等。