【正确答案】当高能粒子穿过金属进入氧化硅时，与原子发生碰撞，使之电离，并在氧化硅中产生电子—空穴对。若金属相对于衬底为正向偏压，在电场作用下，电子向金属—氧化硅界面运动，而空穴向氧化硅—硅界面运动。在运动过程中，由于电子的寿命与迁移率之积较大，除一部分与空穴复合外，大部分离开氧化硅层，被金属所收集。空穴由于其寿命与迁移率之积较小，在运动过程中不是与电子重新复合，就是被氧化硅层中的空穴陷阱所俘获。由于氧化硅—硅界面势垒很高，硅不能向氧化硅提供电子。这样就在氧化硅—硅界面积累起正的空间电荷层。