【正确答案】由于离子流密度及离子的能量可以精确控制，因而能精确控制加工效果，实现纳米级乃至分子、原子级的超精密加工；离子束加工时所产生的污染少；加工应力变形极小；对被加工材料的适应性强；但加工成本高。