摘要
本文用Synopsys公司的TCAD工具-TWB(TAURUS WORK-BENCH)虚拟FAB进行研究设计了适用于智能功率集成电路的700v单晶扩散型Double-Resurf Ldmos。该高压管的生产工艺和标准的CMOS工艺完全兼容,只需要增加3张掩模板。通过优化工艺参数,用Medici仿真的最高耐压可以达到800v,导通电阻为16Ω,可以广泛应用于各种功率控制电路。
The paper uses TCAD tools of Synopsys- TWB,virtual FAB, to design a 700v Double- Resurf Ldmos for SPIC(Smart Power IC). The HV- Ldmos’process is completely compatible with standard CMOS process ,only needs three additional masks. By optimizing the process parameters, the break voltage of the Ldmos can reach 800v, While the on- resistance is 16Ω. So it can be used in vari- ous SPIC.
出处
《微计算机信息》
北大核心
2007年第23期270-271,283,共3页
Control & Automation
基金
上海科委国际合作基金资助(055207041)
