激光干涉仪在校准拉绳式位移传感器的应用被引量：5

The Apply of Calibration the Position Transducer Witch Laser Interferometer

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摘要拉绳式位移传感器是一种新型而简便的长度位移传感器,用途非常广泛。激光干涉仪技术现在已经十分成熟。本文详细介绍了利用成熟的激光干涉仪技术校准拉绳式位移传感器的方法。

作者李德乾

机构地区深圳市计量质量检测研究院

出处《计量与测试技术》 2007年第3期29-,32,共2页 Metrology & Measurement Technique

关键词激光干涉仪拉绳式位移传感器校准

同被引文献26

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计量与测试技术

2007年第3期

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