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MICROLAB MKII失效原因探讨
Finding the Cause to the Efficacy Loss of MICROLAB MKII
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摘要
剖析了MICROLAB MKII表面分析仪的386电源、MIG300高压电源、VPS60溅射离子泵电源、14D一20示波器等单元电路的原理。分析了部分故障产生的原因及排除方法。还对部分单元电路进行了简化处理,补绘了部分模块的电路图。
作者
杨忠孝
宁永功
机构地区
电子科技大学微电子与固体电子学院
出处
《实验科学与技术》
2005年第z1期180-183,共4页
Experiment Science and Technology
关键词
剖析
电路原理
故障
分类号
TH7 [机械工程—精密仪器及机械]
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实验科学与技术
2005年 第z1期
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