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调焦光路中超精密双等位环平板电容位移传感器研究 被引量：1

High-precise Double Equipotential Ring Capacitance Sensor for Optical Measurement
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摘要 在应用共焦显微镜原理实现对超精加工表面的几何量测量中,设计了一种环状的电容位移传感器,对物镜的调焦位移进行测量,使测量光轴从极板的中心孔穿过,测量位移方向与光路的光轴重合,与阿贝原理相符;采用微机电系统(MEMS)工艺加工双等位环电容极板,电容器极板很薄,间隙小于2μm,减小边缘效应附加电容,从而极大地提高了测量的线性和测量精度.设计了处理电路,对该传感器进行了标定,在0～30μm内,其线性度为0.05%,分辨力优于0.01μm.
作者 张建寰 高学敏 杨晓东
机构地区 厦门大学机电工程系
出处 《计量学报》 CSCD 北大核心 2006年第z1期203-206,共4页 Acta Metrologica Sinica
关键词 计量学 电容传感器 双等位环 微机电系统 阿贝原理
分类号 TB92 [机械工程—测试计量技术及仪器]
  • 相关文献

参考文献4

二级参考文献11

  • 1张玉艳,王玉田,王莉田.用于差动电容传感器的高分辨率电路的研究[J].传感技术学报,2002,15(1):51-54. 被引量：9
  • 2王朝瑞 史荣昌.矩阵分析[M].北京:北京理工大学出版社,1995,6..
  • 3[1]Eloamel H.E.A.A simple and efficient technique for the simulation of capacitive pressure transducers [J]. Sensors and Actuators, 1999;77:183-186
  • 4[2]Li X, Meijer G C M and Jong G W.An accurate smart capacitive angular-position sensor with a full circle range [A]. In:Instrum Meas Tech Conf Proc [C], Waltham, MA:IEEE,1995;80-82
  • 5[3]Lotters J C, Olthuis W and Veltink P H,et al. A sensitive differential capacitance to voltage converter for sensor applications [J]. IEEE Trans Instrum Meas, 1999;48(1):89-96
  • 6[4]Holmberg P.Automatic balancing of linear AC bridge circuits for capacitive sensor elements [J]. IEEE Trans Instrum Meas, 1995;44(3):803-805
  • 7Wang Shouguan，Applied Optics，1996年，35卷，25期
  • 8王家桢，传感器与变送器，1996年
  • 9王朝瑞，矩阵分析，1995年
  • 10Shi X,Matsumoto H,Murao K.A high-accuracy digital readout technique for humidity sensor[J].Transactions on Instrumentation and Measurement,2001,(5):1277-1282.

共引文献44

同被引文献12

  • 1Chetwynd D G, Siddall G J. Improving the Accuracy of Roundness Measurement [ J]. Journal of Physics E: Scientific Instruments, 1976, 9 : 537 - 544.
  • 2Jeong G B, Kim D H, Jang D Y. Real Time Monitoring and Diagnosis System Development in Turning through Measuring a Roundness Error based on Three - point Method [ J ]. International Journal of Machine Tools & Manufacture, 2005, 45 ( 12 - 13 ) : 1494 - 1503.
  • 3Muralikrishnan B, Venkatachalam S, Raja J, et al. A Note on the Three - point Method for Roundness Measurement [ J ]. Precision Engineering, 2005, 29 (2) : 257 - 260.
  • 4Moore D. Design Considerations in Muhiprobe Roundness Measurement [ J ] . Journal of Physics E: Scientific Instruments, 1989, 22(6) : 339-343.
  • 5国家质量监督检验检疫总局.GB/T26098--2010.圆度测量仪[S].2011.
  • 6徐志玲,刘宇,程琦.4种圆度误差评定方法分析[J].计量学报,2009,30(Z1):38-41.
  • 7胡敏,李晓莹,常洪龙,蒋庆华.基于ASIC芯片的微小电容测量电路研究[J].计量学报,2007,28(4):379-382. 被引量：10
  • 8黄富贵,郑育军.基于区域搜索的圆度误差评定方法[J].计量学报,2008,29(2):117-119. 被引量：31
  • 9张玉梅,左春柽,刘岩,李春芳.圆度误差检测方法现状与展望[J].工具技术,2008,42(11):8-11. 被引量：9
  • 10张镭,赵莹,张玉.三测头法误差分离技术的理论与试验[J].机械工程学报,2009,45(6):256-261. 被引量：12

引证文献1

二级引证文献4

计量学报
2006年 第z1期

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