分压强质谱计校准装置测量不确定度评估被引量：6

Uncertainty Evaluation of Partial Pressure Mass Spectrometry Calibration System

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摘要为了评估分压强质谱计校准装置的不确定度,对作为参考标准的磁悬浮转子规进行了大量实验,包括磁悬浮转子规的长期稳定性、切向动量传递系数随气体种类和温度的变化等.在此基础上,对两种测量方法测量1～3种混合气体分压强的不确定度进行了严格评估,给出了扩展不确定度和包含因子.此外,还按建立测量标准的要求给出了分压强质谱计校准装置的重复性和稳定性,并进行了合格性评定.

作者李得天冯焱

机构地区兰州物理研究所

出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第z1期39-42,共4页 Chinese Journal of Vacuum Science and Technology

关键词分压强质谱计校准测量不确定度评估

分类号 TB77 [一般工业技术—真空技术]

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