热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研究

Ivestigation of infrared spectra and light-induced degradation of the a-Si:H film synthesized by ECR-CVD assisted hot-wire

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摘要采用热丝辅助MWECR-CVD系统制备出了a-Si:H薄膜.应用傅立叶红外仪测量了薄膜的红外谱,用共面蒸铝电极法测量了薄膜的光电导.通过比较A样品(加入热丝)和B样品(未加热丝),得出在热丝辅助MWECR-CVD系统制备非晶硅薄膜过程中,热丝的光照对薄膜的抗衰退起到了关键作用,用该系统制备非晶硅薄膜,大大降低了薄膜中的总氢含量,提高了薄膜的稳定性,同时,Si-H键合体的摇摆模发生了红移.

作者荣延栋阴生毅胡跃辉吴越颖朱秀红周怀恩张文理邓金祥陈光华

机构地区北京工业大学

出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第z1期3181-3183,共3页 Journal of Functional Materials

基金国家重点基础研究发展计划973资助项目(G2000028201-1)

关键词非晶硅红外光致衰退

分类号 O484.5 [理学—固体物理]

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