感光聚酰亚胺研究
Study of Photosensitive Polyimide
摘要
综述了近几十年来对感光聚酰亚胺的研究,着重叙述其制备方法、性能及应用,提出了该材料在微电子工业中的发展趋势及应用前景.
出处
《化学与生物工程》
CAS
2003年第z1期77-80,共4页
Chemistry & Bioengineering
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