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扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用

The Application of Voltage Contrast Image of the SEM in Failure Analysis

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摘要阐述了利用扫描电子显微镜获取电压衬度像的机理,并对样品充电现象进行了解释.通过引用两例失效分析案例,描述了利用样品的充电现象确定元器件内部开路位置的方法.

作者王全胡斌孙静胡会能

出处《材料工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第z1期328-329,共2页 Journal of Materials Engineering

关键词电压衬度像充电现象开路

分类号 TN16 [电子电信—物理电子学]

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材料工程

2003年第z1期

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