期刊文献+

基于非晶硅的红外焦平面阵列微桥结构的研究 被引量:2

下载PDF
导出
摘要 近年来,集成非制冷红外焦平面阵列技术的发展和应用成为国内外研究的热点。本文从红外材料的确定,探测结构的选择入手,通过大量的流片实验,对基于非晶硅的非制冷红外探测微桥结构制作工艺进行了系统的研究,得到一套合适的工艺参数,并成功制作出160×120规模的微桥结构阵列。
出处 《科技资讯》 2008年第27期8-,10,共2页 Science & Technology Information
基金 西安市科技局创新基金研究项目(XA-AM-200618)
  • 相关文献

参考文献1

二级参考文献7

  • 1Hanson Charles M, Beratan Howard R, Belcher James F, et al. Advances in monolithic ferroelectric uncooled IRFPA technology[A]. SPIE[C].1998,3379.60-68.
  • 2Hanson Charles M, Beratan Howard R. Thin film ferroelectrics:breakthrough[A]. SPIE[C]. 2002,4721.91-98.
  • 3Murphy R, Kohin M, Backer B, et al. Recent developments in uncooled IR technology[A]. SPIE[C]. 2000,4028.12-16.
  • 4Mottin E, Astrid Bain, Jean-Luc Martin, et al. Uncooled amorphous silicon technology enhancement for 25 μm pixel pitch achievement[A].SPIE[C].2002,4820.200-207.
  • 5Philip E Howard, John E Clarke, Adrian C Ionescu. DRS U6000 640×480 VOx uncooled IR focal plane[A]. SPIE[C].2002,4721.48-55.
  • 6Murphy D,Ray M, Wyles R, et al.High sensitivety (25 μm pitch) microbolometer FPAs[A]. SPIE[C]. 2001,4454.147-159.
  • 7Eric MOTTIN, Jean-Luc MARTIN, Jean-Louis OUVRIER-BUFFET, et al. Enhanced amorphous silicon technology for 320×240 microbolometer arrays with a pitch of 35 μm[A]. SPIE[C]. 2001,4369.250-256.

共引文献87

同被引文献21

  • 1陈永生,郜小勇,杨仕娥,卢景霄,李维强.掺磷硅薄膜的微结构及电特性研究[J].压电与声光,2006,28(6):733-735. 被引量:6
  • 2廖乃镘,李伟,蒋亚东,匡跃军,李世彬,吴志明.氢化非晶硅(a-Si∶H)薄膜稳定性的研究进展[J].材料导报,2007,21(5):21-24. 被引量:12
  • 3STAEBLER D L, WROMKI C R. Reversible conductivity changes in discharge-produced amorphous Si [J]. Appl Phys Lett, 1977, 31: 292-294.
  • 4MADAN A. Amorphous silicon-from doping to multi-billion dollar applications [J].Journal of Non-Crystalline Solids, 2006, 352 (9-20): 881-886.
  • 5KONDO M, FUJIWARA H, MATSUDA A. A novel approach for the growth of μc-Si at a high rate over 3 nm/s [J]. Thin Solid Films, 2003, KONDO M, FUJIWARA H, 427 (1-2): 33-36.
  • 6MATSUDA A. Fundamental aspects of low-temperature growth of microcrystalline silicon [J].Thin Solid Films, 2003, 430 (1 -2): 130- 134.
  • 7卢磊.薄膜材料--应力、缺陷的形成和表砥氧化[M].北京:科学技术出版社,2007:51-68.
  • 8Staebler D L,Wromki C R.Reversible Conductivity Changes in Discharge-Produced Amorphous Si[J].Appl Phys Lett,1977,31:292-294.
  • 9Madan A.Amorphous Silicon-From Doping to Multi-Billion Dollar Applications[J].Journal of Non-Crystalline Solids,2006,352 (9-20):881-886.
  • 10Hebbron M C,Makh S S.Development of Gallium Arsenide-Based Spatial Light Modulators[C] //Proc SPIE,1987,825:19-23.

引证文献2

二级引证文献2

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...
;
使用帮助 返回顶部