摘要
本文设计了一种采用表面工艺的微硅隧道加速度变送器 ,其参数经有限元分析优化 ,并采用了平头隧道电极 ,变送器的控制采用“力平衡”方式。设计时重点考虑和成熟工艺的兼容性 ,其全部微细结构加工都只在硅片的一个表面上进行 。
The authors have designed a new miniaturized surface micromachined tunneling transducer. The transducer structures are fabricated on the surface of a single silicon wafer and consist of a polysilicon bridge with electrostatic deflection electrodes and a flat tunneling one underneath. The structure are verified by FEM (Finite Elements Method). The device are operated in a force rebalance feedback mode. The processing of the transducer is ongoing.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第z2期193-1294,201,共3页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
国家自然科学基金项目 (598750 52 )
关键词
隧道
加速度计
变送器
表面工艺
Tunnel Accelerometer Transducer Surface processing
