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MEMS传声器原理与应用 被引量:4

Theory and Application of MEMS Microphone
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摘要 主要介绍了MEMS传声器的基本原理、结构及声学、电气性能;简要叙述了MEMS传声器在新型IT产品使用中的基本应用与市场展望。 The basic principle, structure and acoustic & electrical performance of MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) microphone are introduced. The application and market prospect of MEMS microphones using in the IT products are described briefly.
出处 《电声技术》 2008年第S1期57-59,共3页 Audio Engineering
关键词 微机电系统 硅传声器 驻极体传声器 MEMS MEMS microphone ECM microphone
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参考文献1

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共引文献2

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引证文献4

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