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CCD在光学器件表面疵病度测量中的应用

The Application of CCD in the Flaw Degree Test of Optical Devices Surface
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摘要 CCD(Charged Coupled Device)具有体积小、重量轻、可靠性高等特点。通过CCD,可以实现光电转换、信号储存转移(传输)、处理等一系列功能。表面疵病对于硅片、光盘、光学器件的表面质量产生很大影响,CCD作为一种非常有效的非接触检测方法,具有无损伤、高精度、高速度的优点。
作者 张睿彬 李娜
机构地区 焦作大学
出处 《光盘技术》 2007年第2期38-40,共3页 CD TECHNOLOGY
关键词 CCD 光学 疵病度 非接触 CCD optics flaw degree non-contact
分类号 TH741 [机械工程—光学工程]
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  • 1[1]罗先河,张广军.光电检测技术[M].北京:北京航空航天大学出版社,2001.
  • 2[2]王庆元.新型传感器原理及应用[M].北京:机械工业出版社,2003.
  • 3[3]蔡文贵.CCD技术应用[M].北京:电子工业出版社,2002.
光盘技术
2007年 第2期

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