摘要
大尺寸集成芯片引脚外观检测一直是电子集成电路器件生产线上的一个重要环节 ,目前尚无较成熟的自动检测设备 ,在此介绍一种针对 40脚以上集成芯片引脚外观的光电自动检测系统 ,其可以实现引脚的内外倾角、左右倾角和横向尺寸的检测 ,采用亚像素细分的方法 ,使长度测量分辨率达到四十分之一像素。
IC chip measurement is a important phase in electronic industry.There is not a available device that has been used widely.In this paper,a automatic photoelectric measuring device is presented,which is suitable for IC chip measurement above 40 legs.The device can measure the chip leg's width and tilt angle both vertically and horizontall.Because of subpixel algorithms,the dimension resolution can reach one fortieth pixel.
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2002年第z3期74-76,共3页
Chinese Journal of Scientific Instrument
基金
天津市光电子联合研究中心资金资助项目
