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化学气相传输法大尺寸ZnO单晶生长模式控制

Growth Mode Control of Large Size ZnO Single Crystal Growth Through Chemical Vapor Transport
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摘要 借助传输剂的作用,化学气相传输法(CVT)ZnO单晶生长过程具有足够高的组分过饱和蒸气压,因而具有很强的生长驱动力.控制单晶的成核和生长模式成为获得大尺寸ZnO单晶的关键.对不同条件下CVT法ZnO单晶生长的实验现象、晶体表面形貌和晶体质量进行了研究分析,给出了晶体生长模式与生长温度、化学配比等条件的关系.并在此基础上实现了ZnO单晶的二维成核生长模式的控制,获得厚度均匀、单一晶向的高质量大尺寸ZnO单晶.
作者 赵有文 董志远 魏学成 李晋闽
机构地区 中国科学院半导体研究所
出处 《Journal of Semiconductors》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期300-305,共6页 半导体学报（英文版）
关键词 ZNO 化学气相传输 生长模式 二维成核
分类号 TN304.2+1 [电子电信—物理电子学]
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参考文献1

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共引文献6

Journal of Semiconductors
2007年 第z1期

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