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三氯化铁蚀刻液的蚀刻能力研究 被引量:4

Study on Etching Capability of Ferric Chloride Etchant
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摘要 研究了三氯化铁蚀刻液对铁镍合金的蚀刻能力,通过对比实验,得出三氯化铁蚀刻液的最佳刻蚀温度为40℃,40℃时,20 mL蚀刻液的最大蚀刻速度为0.021 mg·min-1·mm-2;达到有效蚀刻量46.39 g/L时,蚀刻速度为0.009 4 mg·min-1·mm-2;达到最大蚀刻量58.79 g/L时,蚀刻速度为0.002 46mg·min-1·mm-2。 The etching ability of ferric chloride etching solution for iron nickel alloy was studied.The experiment results show that the best etching temperature of ferric chloride etching solution is 40 ℃.At 40 ℃,maximum etching speed of 20mL etching solution is 0.021 mg?min-1?mm-2;while achieving effective etching volume 46.39 g/L,the etching speed is 0.0094 mg?min-1?mm-2;while achieving the maximum etching volume 58.79 g/L,the etching speed is 0.00246 mg?min-1?mm-2.
出处 《辽宁化工》 CAS 2012年第12期1248-1249,1265,共3页 Liaoning Chemical Industry
关键词 三氯化铁蚀刻液 蚀刻 蚀刻能力 ferric chloride etching solution etching etching ability
  • 相关文献

参考文献3

  • 1杨云霞,王燕,张蕾.FeCl_3蚀刻废液的除镍研究[J].华东理工大学学报(自然科学版),2001,27(3):320-322. 被引量:10
  • 2吴志文;朱敏荣.刻蚀铁镍合金平板荫罩中控制三氯化铁刻蚀液的方法[P],CHP:001370618,2000.
  • 3王博;周江伟;余祥帧.一种含氯化铜、三氯化铁蚀刻废液处理与再生[P],CHP:2009100287299,2009.

二级参考文献4

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  • 2Tai K K,USP:42 6195 9,1981年
  • 3徐采东,锌冶金物理化学,1979年,317页
  • 4Kanesashi H Y,JP 92 3 5 684A,1997

共引文献9

同被引文献27

引证文献4

二级引证文献2

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