摘要
分析了纳米重定位系统的常用重定位技术,建立了探针悬臂偏移量模型,探针针尖偏差前馈补偿和压电陶瓷H∞控制的模型。通过对其标准化,求出控制器K,并对其合理性进行分析。最后,进行计算机仿真,结果表明,所设计的系统具有良好的跟踪、重定位能力。
The nano-positioning system repositioning technology was analyzed,and a cantilevered probe offset model,the probe tip bias feedforward compensation and piezoelectric ceramic model of H ∞ control were built.The K controller could be derived through standardized the model,and analyzed its reasonableness.Finally,computer simulation results show that the designed system has good tracking ability to repositioning.
出处
《系统仿真学报》
CAS
CSCD
北大核心
2009年第S2期46-48,共3页
Journal of System Simulation
基金
上海科委项目(0852nm06800)
国家自然科学基金(60774059)
关键词
H∞控制
原子力显微镜
重定位
纳米
H∞ control
atomic force microscope
repositioning
nano
