集成光学器件及应用

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摘要 TN25 94032059微机械技术与集成光学[会,中]/王跃林,丁纯,徐义刚(浙江大学)∥第七届全国集成光学学术讨论会.—杭州.93.10讨论了微机械技术在集成光学中的应用问题,这种探索可以研究出新型集成光学器件及全光的集成光学传感器,全光传感器与电学传感器相比具有抗干扰性好、绝缘性好和防爆等优点。

出处《中国光学》 EI CAS 1994年第3期66-68,共3页 Chinese Optics

关键词集成光学器件学术讨论会半导体浙江大学光学传感器微机械技术抗干扰性光传感器杭州光波导

分类号 TN25 [电子电信—物理电子学]

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