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制备材料芯片的K分分形掩膜策略

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摘要研究了制备由K个水平(元素含量)的任意n种元素所组合的材料芯片的掩膜策略，即K分分形的掩膜策略，它不仅弥补了以往掩膜策略的缺陷，而且具有普遍适用性和更高的灵活性。

作者冯兰顾明蔡英文

机构地区《高技术通讯》联系人上海交通大学材料科学与工程学院

出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2004年第6期39-42,共4页 Chinese High Technology Letters

关键词材料芯片分形掩膜组合合成材料合成技术

分类号 TB30 [一般工业技术—材料科学与工程]

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高技术通讯

2004年第6期

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