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CVD金刚石薄膜基体材料的选择 被引量:6

SELECTION OF CVD DIAMOND FILM SUBSTRATES
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摘要 论述了CVD金刚石薄膜基体材料的性质 ,给出了选择金刚石薄膜基体材料的方法 ,并对各种材料的膜基结合力情况作了简要评述。 The properties of CVD diamond film substrates were introduced. The methods of selecting diamond film substrates were provided, and the adhension conditions between diamond film and the substrates were summarized as well.
作者 方莉俐
机构地区 郑州大学物理系
出处 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2004年第3期50-51,共2页 Diamond & Abrasives Engineering
关键词 金刚石薄膜 基体材料 CVD diamond films substrates CVD
  • 相关文献

参考文献16

二级参考文献26

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共引文献74

同被引文献57

引证文献6

二级引证文献24

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