出处
《中国集成电路》
2004年第7期65-68,共4页
China lntegrated Circuit
同被引文献31
-
1孙霞,丁泽军,肖沛,吴自勤.电子束光刻中邻近效应的Monte Carlo模拟[J].电子显微学报,2004,23(4):363-363. 被引量：1
-
2林钰,齐英,辛荣生,贾晓林,仝奎.ITO膜方块电阻测试条件的探讨[J].河南教育学院学报（自然科学版）,2000,9(2):34-36. 被引量：4
-
3张麦丽,王秀峰,牟强,张方辉.ITO玻璃光刻工艺的研究[J].液晶与显示,2005,20(1):22-26. 被引量：14
-
4童志义.光刻设备市场与技术现状[J].电子工业专用设备,2005,34(2):3-6. 被引量：4
-
5杨清华,刘明,陈大鹏,叶甜春.高斯电子束曝光系统[J].电子工业专用设备,2005,34(2):42-45. 被引量：1
-
6姜立娟,李响,唐拓.光刻线宽精度控制的研究[J].微处理机,2005,26(2):12-13. 被引量：4
-
7邓涛,李平,邓光华.光刻工艺中缺陷来源的分析[J].半导体光电,2005,26(3):229-231. 被引量：7
-
8肖沛,孙霞,闫继红,丁泽军.电子束光刻中邻近效应校正的几种方法[J].电子显微学报,2005,24(5):464-468. 被引量：7
-
9孙霞,尤四方,肖沛,丁泽军.电子束光刻的邻近效应及其模拟[J].物理学报,2006,55(1):148-154. 被引量：9
-
10董大为.半导体设备是信息产业的基石.世界电子产品与技术,1999,(10):9-11.
引证文献5
-
1张琨,林罡,刘刚,田扬超,王晓平.电子束光刻技术的原理及其在微纳加工与纳米器件制备中的应用[J].电子显微学报,2006,25(2):97-103. 被引量：7
-
2卞志昕.《国际半导体技术蓝图》(2005版)光刻部分解析[J].电子工业专用设备,2006,35(6):3-5. 被引量：8
-
3席曦,王振交,杨辉,乔琦,季静佳,陆红艳,李果华.有机太阳能电池ITO电极的光刻制备法及其研究[J].功能材料,2007,38(A04):1533-1535.
-
4张药西.半导体技术对无源电子元件发展的影响[J].电子元件与材料,2009,28(5):1-4. 被引量：2
-
5席曦,王振交,杨辉,乔琦,季静佳,李果华.有机太阳电池ITO电极质量衡量方法[J].太阳能学报,2009,30(10):1311-1314. 被引量：4
二级引证文献21
-
1蔡坚,王水弟,贾松良.系统级封装(SiP)集成技术的发展与挑战[J].中国集成电路,2006,15(9):60-63. 被引量：7
-
2王正华.向450毫米(18英寸)硅晶圆进军[J].中国集成电路,2007,16(4):60-63.
-
3朱樟明,钱利波,杨银堂,柴常春.一种基于目标延迟约束缓冲器插入的互连优化模型[J].Journal of Semiconductors,2008,29(9):1847-1850. 被引量：1
-
4陈昕.SOI技术的发展思路[J].电子器件,2010,33(2):193-196. 被引量：5
-
5朱樟明,钟波,杨银堂.基于RLC π型等效模型的互连网络精确焦耳热功耗计算[J].物理学报,2010,59(7):4895-4900. 被引量：3
-
6王华江,汤佳杰,吴亮,罗乐,孙晓玮.一种硅埋置型系统级封装中集成毫米波无源器件工艺[J].功能材料与器件学报,2010,16(3):294-298.
-
7Kalyan S. Gokhale,Brij M. Moudgil,涂佃柳（译）,刘晓斌（译）.化学机械抛光中的颗粒技术[J].电子工业专用设备,2011,40(2):1-7. 被引量：2
-
8赵斌,赵明涛,张艳飞,杨俊和.Deposition of Cu seed layer film by supercritical fluid deposition for advanced interconnects[J].Chinese Physics B,2013,22(6):435-439.
-
9严慧敏,郭颖,朱华新,刘桂林,朱冰洁,李帅,李果华.ITO电极的湿膜光刻与干膜光刻制备研究[J].人工晶体学报,2013,42(6):1143-1147. 被引量：1
-
10张春雷,向阳,于长淞.高精度干涉仪针孔空间滤波器研制[J].中国光学,2013,6(6):952-957. 被引量：4
-
1何骏.医用CO_2激光器的过去、现在和未来[J].激光杂志,1987,8(4):269-274.
-
2严兆辉.微电子的过去、现在和未来[J].科技进步与对策,2003,20(7):176-178. 被引量：3
-
3孙轲.NVR的过去、现在和未来[J].中国安防,2015,0(9):68-71.
-
4赵梓森.光纤通信的过去、现在和未来[J].光学学报,2011,31(9):91-93. 被引量：46
-
5鲁业频,杨汉生.电视显示器的过去、现在和未来[J].有线电视技术,2010,17(5):72-75. 被引量：1
-
6晶体管步入“老年时代”体积已缩小至极限[J].电子工业专用设备,2007,36(12):65-65.
-
7陈静.“握”在手中的过去、现在和未来——苏州本控专访[J].世界广播电视,2013,27(1):33-34.
-
8曹海燕,吕淑琴,张晨燕.IP电话发展现状及其前景[J].石家庄经济学院学报,2001,24(5):546-549. 被引量：2
-
9汤姆逊三网融合解决方案的创新先驱[J].广播电视信息,2006,13(4):97-97.
-
10郭中敏.移动支付的过去、现在和未来[J].移动通信,2014,38(5):45-45.
;
