摘要
讨论基于抗反射结构(Mechanical Anti-Reflection Structure,MARS)的硅基微机械式光衰减技术的基本原理和相关的制造方法,研制了一种工作在1320-1550nm波长范围内的静电力驱动的可调式微机械光衰减器.制各该衰减器使用常规的硅平面工艺,制作简单,成本较低.器件体积小,响应速度快,可适应日益增长的波分复用(wavelength division multiplex,WDM)全光网的发展.
Optical attenuator is a key component in a fiber network. This paper reports a new kind of Silicon-based Variable Optical Attenuator(VOA) based on Micro-Opto-Electro-Mechanical System(MOEMS) technique. The device is designed to work on the wavelength range of 1 320 nm to 1 550 nm.
出处
《华东师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2004年第3期71-75,共5页
Journal of East China Normal University(Natural Science)
基金
国家杰出青年基金(69925409)上海科技发展基金(012261028)上海市科委AM基金(0201)和(0301)上海市重点学科建设项目(2001)
