期刊导航
期刊开放获取
重庆大学
退出
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
有害气体的抽除与清洁真空的获得
被引量：
3
Harmful gas exhausting and clean vacuum acquiring
原文传递
导出
摘要
主要介绍了几种工艺条件下使用的干式真空系统对有害气体的抽除和清洁真空的获得方法
Introduces mainly the ways to use dry-type vacuum system to exhaust harmful gas and acquire clean vacuum under differant technological conditions.
作者
杨乃恒
巴德纯
王晓冬
于治明
机构地区
东北大学真空与流体工程研究中心
出处
《真空》
CAS
北大核心
2004年第4期15-20,共6页
Vacuum
关键词
有害气体
清洁真空
干式真空系统
抽除
真空获得技术
harmful gas
clean vacuum
vacuum acquiring
分类号
TB75 [一般工业技术—真空技术]
引文网络
相关文献
节点文献
二级参考文献
0
参考文献
0
共引文献
0
同被引文献
12
引证文献
3
二级引证文献
12
同被引文献
12
1
杨乃恒.
现代涡轮分子泵的技术现状与展望[J]
.真空,1996,33(2):1-7.
被引量：8
2
李云奇.真空镀膜技术与设备[M].北京:冶金工业出版社.
3
尤大伟.离子束技术、离子源及其应用[C].中科院空间中心.2001.
4
杨乃恒.真空获得设备[M].北京:冶金工业出版社,2005.
5
姜燮昌．21世纪真空获得技术的展望[Z]．上海：第二届真空获得与测量培训资料，2004．
6
徐贵年．JZJLH-5000真空机组使用说明书[Z]．上海：1998．
7
杨乃恒,巴德纯,王晓冬,于治明.
扩散泵的世纪回顾与发展[J]
.真空,2008,45(1):1-16.
被引量：4
8
汪滨,沈志唯.
低温水泵和分子泵组合替代低温泵的新设备[J]
.真空,1999(4):34-36.
被引量：1
9
邹紧跟,赵秀岩.
制冷机低温泵的再生[J]
.真空,2000,37(1):29-31.
被引量：3
10
杨乃恒.
干式真空泵的原理、特征及其应用[J]
.真空,2000,37(3):1-9.
被引量：48
引证文献
3
1
姜燮昌.
真空获得技术面临的挑战与对策[J]
.真空,2007,44(2):1-7.
被引量：10
2
陈素君,陈月增.
真空蒸发镀膜设备性能的改进[J]
.真空,2008,45(6):40-43.
被引量：1
3
陈素君,杨静.
镀膜设备真空系统主泵的配置[J]
.真空,2010,47(1):7-10.
被引量：1
二级引证文献
12
1
姜燮昌.
螺杆真空泵的特点与应用[J]
.真空,2013,50(2):1-7.
被引量：25
2
陈华男,李显凌,孙振.
光学加工中真空夹具设计及分析[J]
.真空,2013,50(4):78-82.
被引量：8
3
王雪飞,王明,王世刚.
二级液环泵吸、排气口影响分析[J]
.机械研究与应用,2015,28(2):37-40.
被引量：2
4
姜燮昌.
粗真空、中真空获得设备的最新进展与应用[J]
.真空,2017,54(3):1-6.
被引量：13
5
许积文,袁昌来,杨玲,张小文,丘伟,张艳丽,李震春,朱保华,杨云,陈国华.
在磁控溅射镀膜实验中开展探究性教学的尝试[J]
.物理实验,2018,38(5):26-31.
被引量：3
6
姜燮昌.
真空系统的故障诊断与排除[J]
.真空,2019,56(3):1-5.
7
李海涛,郭美如,张世伟,成永军,任正宜,吴成耀.
真空泵微小抽速测试方法研究进展与分析[J]
.真空科学与技术学报,2019,39(12):1054-1060.
被引量：3
8
姜燮昌.
适用于化工工业的真空泵[J]
.真空,2020,57(2):1-7.
被引量：11
9
徐法俭,黄志婷,刘宝新.
基于热力学理论液环压缩系统设计方法及工程应用[J]
.真空,2020,57(5):79-84.
被引量：1
10
杨胜,夏洋,兰丽丽,陶晓俊,冯嘉恒,明帅强,卢维尔,屈芙蓉,刘涛.
集束型多层纳米薄膜沉积设备的研制[J]
.真空科学与技术学报,2020,40(11):1096-1102.
被引量：2
1
姜燮昌.
真空获得技术面临的挑战与对策[J]
.真空,2007,44(2):1-7.
被引量：10
2
田砚,刘玉魁.
中国真空获得设备的进展[J]
.真空与低温,1991,10(2):28-31.
3
菜伯罗夫,叶梗.
改进扩散泵的新原理[J]
.四川真空,1994(2):44-47.
4
东北大学第二期“真空技术”培训班在沈阳圆满结束[J]
.通用机械,2005(8):99-99.
5
徐兴铎.
我国真空获得技术产品的现状及建议[J]
.四川真空,1997(2):1-4.
6
董镛.
来自日本真空市场的启示[J]
.真空,1997(1):51-52.
7
姜祥祺,杨锡良,小宫宗治.
开拓超高真空的世界(四)——支撑高技术的基础[J]
.真空与低温,1989,8(2):47-61.
8
徐成海.
能获得清洁真空的JKD—200高真空金属油扩散泵抽气机组[J]
.四川真空,1990(3):1-6.
被引量：2
9
张以忱.
真空技术及应用系列讲座 第十六 讲真空系统的操作与维护[J]
.真空,2008,45(4):109-111.
10
姜祥祺,扬锡良,小宫宗治.
开拓超高真空的世界(五)——支撑高技术的基础[J]
.真空与低温,1989,8(3):53-63.
真空
2004年 第4期
职称评审材料打包下载
相关作者
内容加载中请稍等...
相关机构
内容加载中请稍等...
相关主题
内容加载中请稍等...
浏览历史
内容加载中请稍等...
;
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
