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HP-801精密自动划片机控制程序设计及实现 被引量:2

The Design and Realization for Control Program ofHP-801 Automatic Dicing Saw
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摘要 主要阐述了HP-801精密自动划片机控制程序的设计及实现手段熏为高精密电子专用设备的控制程序设计开发拓展一些思路与方法。 The design method and way for control program of HP-801Automatic Dicing Saw is introduced in the paper. It approaches a path to design control program in semiconductor manufacturing equipment.
作者 杨云龙
出处 《电子工业专用设备》 2004年第6期60-62,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing
关键词 人机界面 主从分布式控制 模块化设计 Interface Master-Slave Distributive Control Modularize Design
  • 相关文献

参考文献2

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共引文献63

同被引文献5

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引证文献2

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