双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统被引量：1

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摘要双材料微悬臂非致冷红外探测成像系统的关键元件是一种新型红外探测器,它采用表面微机械与常规集成电路的新颖组合,其工艺与标准集成电路工艺100％兼容。通过双材料微悬臂热敏单元,控制电容板位置耦合到低噪声MOS放大器输入端读出信号,也可通过光学读出。其噪声等效温度(NEDT)接近理论极限,能够满足高灵敏度、轻重量和低成本的装备需求。

作者郭方敏陆卫

机构地区中国科学院上海技术物理研究所

出处《红外》 CAS 2004年第11期14-20,共7页 Infrared

关键词红外探测器集成电路工艺理论极限 MOS 放大器输入端成像系统双材料光学等效

分类号 TN215 [电子电信—物理电子学] O346.1 [理学—固体力学]

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