摘要
在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料。本文分析了当前国内外在MEMS研究中 的陶瓷材料的应用现状。着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它 一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用。
There are many kinds of materials using in Microeletrocmechanical system (MEMS), among them,ceramic material is the most application. This paper analysed the application condition of ceramic material in the research in MEMS. As fabric material and thin film material, Si has been analysed. Moreover, other ceramic material such as SiO2, SiC and PZT are been presented.
出处
《中国陶瓷工业》
CAS
北大核心
2004年第5期49-51,共3页
China Ceramic Industry
基金
国家自然科学基金资助项目(编号:50275071)江西省自然科学基金资助项目(编号:0250018)
