摘要
使用热丝CVD装置在钢渗铬层、三氧化二铝、YG8硬质合盒基底上沉积了金刚石膜、结果表明，在700～900℃温度范围内，热稳定性好的基底材料有利于金刚石晶核的形成。硬质合金和三氧化二铝的热稳定性都比钢渗铬层好，在700～900℃能获得10^7cm^-2以上的形核密度，而钢渗铬层超过800℃后．形核密度低于10^6cm^-2。
Diamond films were deposited on steel T10 with chromizing layer, Al2O3, cobalt cemented tungsten carbide (YG8) insert using a heat-filament CVD apparatus. The results showed that the stable substrate materials at 700~900℃ are in favor of diamond nucleation. The nucleation density is more than 107cm-2 on Al2O3 and YG8 at 700~900℃, while less than 106 cm-2 on steel T10 with chromizing layer.
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2004年第4期32-34,共3页
China Surface Engineering
基金
广东省自然科学基金资助项目(990548)
韶关学院重点科研资助项目(314-140366)
国家教委博士点基金资助项目(1999056121)。
关键词
化学气相沉积
金刚石
形核密度
chemical vapor deposition (CVD)
diamond
nucleation density
