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延续摩尔定律光刻技术在现代CPU制造中的应用

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摘要 90nm制程CPU的大量面世让摩尔定律的神话再次得以延续。在这支神奇魔棒的指挥下，从0.25μm，0.18μm到现在的90nm甚至是65nm制程CPU中晶体管的集成数量以几何级数增长．与之相随的则是制造工艺的不断改进、而其中光刻技术则是延续摩尔定律的关键所在。

作者孤云

出处《微型计算机》北大核心 2005年第2期124-127,共4页 MicroComputer

关键词摩尔定律光刻技术 CPU 制造流程特征尺寸 OPC技术 MODEL-BASED OPC

分类号 TP332 [自动化与计算机技术—计算机系统结构] TN405.7 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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微型计算机

2005年第2期

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