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流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨
被引量:
2
Study on Equipment of Ultra-smooth Precise Polishing Based on Liquid Two Dimension Vibration
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摘要
本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合“流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工”理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备。试验表明该装备是切实可行的。
作者
何冰强
郭钟宁
于兆勤
机构地区
广东省机械研究所
广东工业大学
出处
《机电工程技术》
2004年第12期50-51,共2页
Mechanical & Electrical Engineering Technology
基金
国家自然科学基金资助项目(编号:50375029)
关键词
流体
抛光
装备
探讨
分类号
TG669 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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机电工程技术
2004年 第12期
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