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流体二维超光滑精密抛光加工装备研制探讨 被引量:2

Study on Equipment of Ultra-smooth Precise Polishing Based on Liquid Two Dimension Vibration
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摘要 本文介绍了当前超光滑表面的加工工艺,结合“流体二维振动的物理-化学复合原子级表面加工”理论,研发了一种流体二维超光滑精密抛光加工装备。试验表明该装备是切实可行的。
出处 《机电工程技术》 2004年第12期50-51,共2页 Mechanical & Electrical Engineering Technology
基金 国家自然科学基金资助项目(编号:50375029)
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