加速度传感器及其制造方法

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摘要本发明开发的加速度传感器，显著减小了弹簧部及重锤式移动电极的自重形成的变形，尽管弹簧部和重锤式移动电极因其自重难免还有所变形，但已减小到微不足道的程度，实验结果表明，对高精度检测加速度几乎就无影响。

作者乐其中 S.Wendar

出处《国外传感技术》 2005年第1期i002-i002,共1页

关键词加速度传感器移动高精度弹簧电极制造方法开发发明

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国外传感技术

2005年第1期

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