摘要
离子辐照能引起超导薄膜的成分、原子环境、电子组态以及相结构的变化,从而导致材料性能的改变,因此离子辐照效应为超导材料的耐辐照能力以及超导器件的研制提供了重要的依据和手段,同时也为探索超导机理提供了重要的实验结果. 1 实验所采用的YBCO超导薄膜样品是在中空阴极环形磁控溅射仪中原位制备的,此装置避免了负离子对薄膜的再溅射,保证了薄膜的均匀性.所用衬底为（100）SrTiO<sub>3</sub>单晶,衬底温度为780℃,溅射气体为氩氧混合气体（Ar:O<sub>2</sub>=2 : 1）,对沉积膜原位进行一个大气压纯氧中、400℃、30min的处理,得到厚250nm,零电阻温度85K,C轴织构的YBCO超导薄膜.
出处
《武汉大学学报（自然科学版）》
CSCD
1993年第3期121-122,共2页
Journal of Wuhan University(Natural Science Edition)
基金
国家自然科学基金
