摘要
本文运用气体动力学的理论，重点从结构上分析了影响ＫＴ－１５０型扩散泵的抽速因素。对设计其他类型的扩散泵具有一定的参考作用。
In this paper, the cause of speed of KT-150 diffusion pump are analyzed in the construction with using the theory of aerodynamics. There are some reference effect in design of other types of diffusion pump.
出处
《真空》
CAS
北大核心
1993年第2期12-15,共4页
Vacuum
