真空微电子器件发射体材料研究概况被引量：5

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摘要改善真空微电子器件发射体材料的性能，有助于大大提高真空微电子器件的性能。本文概述了近年来真空微电子器件发射体材料研究状况，认为目前对金属薄膜材料、合金材料、金刚石薄膜、碳化物、硅化物等的场发射特性的研究工作，将产生一些性能优异的发射体材料。

作者刘卫东罗恩泽

机构地区西北工业大学

出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期1-4,共4页 Semiconductor Technology

基金国家自然科学基金

关键词真空微电子学阴极材料金刚石薄膜

同被引文献91

1于海波,林祖伦,祁康成.场发射阵列(FEA)阴极的材料及制备工艺[J].现代显示,2005(6):38-40.
2崔春娟,张军,韩民,陈军,许宁生,刘林,傅恒志.Si-TaSi_(2)共晶自生复合场发射材料的组织与性能[J].科学通报,2006,51(24):2915-2919. 被引量：3
3崔春娟,张军,苏海军,王红,刘林,傅恒志.Si-TaSi_2共晶自生复合场发射材料的定向凝固组织特征[J].无机材料学报,2007,22(5):1019-1023. 被引量：3
4崔春娟,张军,李波,刘林,傅恒志.Si-TaSi_2场发射阴极阵列制备工艺的研究[J].功能材料,2007,38(11):1806-1809.
5周飞,张军,苏海军,刘林,傅恒志.湿法腐蚀制备Si-TaSi_2场发射阴极阵列的工艺研究[J].铸造技术,2010,31(5):571-574.

1崔春娟,张军,李波,刘林,傅恒志.Si-TaSi_2场发射阴极阵列制备工艺的研究[J].功能材料,2007,38(11):1806-1809.
2苏海军,张军,刘林,傅恒志.定向凝固Al_2O_3/YAG共晶自生复合材料的组织形态及非规则共晶生长[J].金属学报,2008,44(4):457-462. 被引量：8
3崔春娟,张军,刘林,傅恒志.场致发射阴极材料的研究进展[J].材料导报,2009,23(11):36-39. 被引量：6
4周飞,张军,苏海军,刘林,傅恒志.湿法腐蚀制备Si-TaSi_2场发射阴极阵列的工艺研究[J].铸造技术,2010,31(5):571-574.
5邓杨芳,张军,苏海军,宋衎,刘林,傅恒志.激光区熔Al2O3/Er3Al5O12共晶自生复合陶瓷的组织与断裂韧性[J].无机材料学报,2011,26(8):841-846. 被引量：5
6于建政,张军,苏海军,宋衎,刘林,傅恒志.激光双面区熔Al_2O_3/Y_3Al_5O_(12)共晶自生复合陶瓷的制备与表征[J].无机材料学报,2012,27(8):843-848. 被引量：4

半导体技术

1994年第2期

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