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TiN涂层表面氧化层研究 被引量:5

Oxidation Film on Surface of TiN Coating
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摘要 在高速钢表面沉积TiN涂层,运用SEM、XRD和XPS等方法研究了TiN涂层表面氧化物形成机理。结果表明,TiN涂层表面氧化物为TiO2,膜厚度约60nm,系由涂层表面吸附氧而形成。
出处 《材料保护》 CAS CSCD 北大核心 1994年第2期13-16,共4页 Materials Protection
基金 中科院北京联合分析测试中心分析测试基金
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