扫描探针显微术

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摘要扫描探针显微术(Scanned—Probe microscopy, SPM)是在扫描隧道显微术(Scanning tunneling microscopy, STM)基础上发展起来的各种新型探针类显微术的总称,它包括原子力显微术(AFM)、磁力显微术(MFM)、静电力显微术(EFM)以及扫描热显微术等,它们的出现对表面科学、材料科学、生命科学以及微电子技术等众多领域的研究有重大意义和广阔的应用前景。

作者于劲

出处《光机电世界》 1994年第5期1-5,共5页

关键词扫描探针探针显微术显微镜

分类号 TG115.215 [金属学及工艺—物理冶金]

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