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自支撑软X射线针孔透射光栅研究 被引量:2

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摘要 本文报道了在研制聚酰亚胺衬底的软X射线透射光栅的基础上 ̄[1],采用全息-离子束刻蚀方法和微电镀技术研制成功了无衬底自支撑的软x射线针孔透射光栅,简要地介绍了工艺过程并给出了实验结果.
出处 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第1期112-112,共1页 Acta Optica Sinica
基金 中国科技大学首届青年基金
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参考文献1

二级参考文献8

共引文献3

同被引文献15

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引证文献2

二级引证文献9

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