用超宽行微波ECR等离子体源沉积DLC薄膜
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2汪建华,任兆杏,邬钦崇.微波电子回旋共振等离子体溅射法沉积ZnO薄膜[J].武汉化工学院学报,1997,19(2):84-87. 被引量：1
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3谭必松,马志斌,吴振辉.微波ECR氧等离子体参数测量[J].武汉工程大学学报,2009,31(5):51-53. 被引量：2
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4王洋,雷明凯,张仲麟.微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置的研制[J].真空,1994,31(6):19-23. 被引量：4
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6沈武林,马志斌,谭必松.磁场位形对微波ECR等离子体电子参数的影响[J].武汉工程大学学报,2010,32(9):53-57. 被引量：5
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7高鹏,徐军,邓新绿,王德和,董闯.微波ECR全方位离子注入制备类金刚石碳膜的结构及摩擦学性能研究[J].物理学报,2005,54(7):3241-3246. 被引量：5
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8李海婴.微波ECR等离子体参数测量及分析[J].哈尔滨师范大学自然科学学报,2001,17(1):27-29.
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9汪建华,袁润章,邬钦崇,任兆杏.用微波ECR等离子体溅射法在蓝宝石(0112)晶面上生长ZnO薄膜的研究[J].物理学报,1999,48(5):955-960. 被引量：3
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10高鹏,徐军,朴勇,丁万煜,邓新绿,王德和,董闯.溅射靶功率对氮化碳薄膜结构的影响[J].真空科学与技术学报,2005,25(5):350-354. 被引量：3
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