在薄氧化层上淀积多晶硅的最佳条件
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3方浩,龙浩,桑立雯,齐胜利,熊畅,于彤军,杨志坚,张国义.Nonpolar a-plane light-emitting diode with an in-situ SiN_x interlayer on r-plane sapphire grown by metal-organic chemical vapour deposition[J].Chinese Physics B,2011,20(1):639-642.
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