纳米薄膜的制备被引量：1

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摘要针对有机半导体粉料和金属粉料蒸发温度低的特点,设计并制作了新型低温辐射式薄膜加热蒸发器,通过对有机粉料的蒸发及溅射时样片衬底的加热实验,取得了良好效果,通过观测装置,可以观测到,薄膜监控测厚仪未能反映出的10纳米薄膜厚度。其制作成本低,加热效率高,同时又提高了设备功效;是一种多功能辐射式加热器,在物理教学和相关的科研生产中有着广泛的应用前景。

作者宋长安车京兰

机构地区兰州大学物理科学与技术学院

出处《甘肃科技》 2005年第2期118-119,125,共3页 Gansu Science and Technology

关键词辐射式加热蒸发器磁控溅射薄膜蒸发镀膜薄膜控制

分类号 TM914.4 [电气工程—电力电子与电力传动] TB383 [一般工业技术—材料科学与工程]

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