摘要
提出了一种用MEMS工艺制作的新型的柔性曲面复眼探测器模型，它具有如昆虫复眼一样的曲面多孔径结构，体积小巧，探测视场大，探测灵敏度高，而且可以合并几个探测器而实现360。全视场探测，它具有对物体角运动十分敏感的特点，能简单而精确地探测出物体的角坐标方位和角运动速度。文中阐述了这种探测器的成像原理，探测器中的晶锥能起到限制杂散光和斜入射光的重要作用，从而使各个微透镜成像互补而不重叠，互不干扰，使系统实现镶嵌成像。并用光学设计软件ZEMAX设计出探测器模型，通过对多个角度的平行入射光成像效果验证了晶锥限制杂散光和斜入射光的重要作用。
出处
《半导体光电》
CAS
CSCD
北大核心
2005年第B03期26-29,共4页
Semiconductor Optoelectronics
