扫描电镜电压衬度像和束感生电流像技术及其在失效分析中的应用研究

下载PDF

导出

摘要本文简要介绍了扫描电镜电压衬度像和束感生电流像（ＥＢＩＣ）技术的原理、发展、现状以及在半导体器件失效分析中的一些应用研究和典型案例。

作者何涛雷祖圣

机构地区中国航天工业总公司

出处《宇航材料工艺》 CAS CSCD 北大核心 1994年第5期39-42,共4页 Aerospace Materials & Technology

关键词扫描电镜电压衬度束感生电流像失效分析

参考文献2

1刘文波,张杏暖.扫描电镜的束感生电流法在模拟集成电路失效分析...[J].电子产品可靠性与环境试验,1990(2):42-44.
2王全,胡斌,孙静,胡会能.扫描电镜电压衬度像方法在失效分析中的应用[J].材料工程,2003,31(z1):328-329.
3王胜林,李斌,吴鹏.半导体器件失效分析研究[J].陕西师范大学学报（自然科学版）,2006,34(S2):36-37. 被引量：2
4陈琳,汪辉.电压衬度像技术在IC失效分析中的应用[J].半导体技术,2008,33(7):581-584. 被引量：3
5王万年,李成基,李韫言.砷化镓扩散长度的变加速电压束感生电流法测量[J].功能材料与器件学报,2000,6(4):328-331.
6龚欣,王旭.时序逻辑电路失效分析[J].半导体技术,2009,34(10):974-977. 被引量：4
7鞠衍清.用运算放大器改进法拉弟电磁感应定律演示实验[J].丹东纺专学报,2004,11(3):11-12.
8黄云,费庆宇.高温正向大电流下TiAl、TiPtAu栅GaAs MESFET的栅退化机理及其对器件特性的影响[J].电子产品可靠性与环境试验,2000,18(6):25-29. 被引量：3
9张吉英,申德振,杨宝均,范希武,郑著宏,吕有明,关郑平.ZnSe pn二极管蓝绿色电致发光[J].发光学报,1997,18(2):110-114. 被引量：4
10董小兵,张少云,徐传骧.斜角造型高压硅器件表面特性的光感生电流法检测[J].西安交通大学学报,2004,38(6):623-626.

宇航材料工艺

1994年第5期

内容加载中请稍等...